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质量流量计和质量流量控制器的区别

2018-09-07

用途和特点
气体质量流量控制器(MFC)在石化工业、生化、半导体和集成电路工业、特种材料学科、医药、蔬果保鲜、加气饮料、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的场合包括:电子工艺设备,如:氧化、CVD、MOCVD、扩散、外延、等离子刻蚀、离子注入、溅射、以及微反应装置、混气配气系统、真空镀膜设备、光纤熔炼、气相色谱仪及其他分析仪器。
结构

气体质量流量计由流量传感器(Sensor),分流器通道和流量放大电路等部件组成;在气体质量流量计的基础上,再加上调节阀门和PID控制电路就构成了气体质量流量控制器。
工作原理
•流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理气体的质量流量(无需温度压力补偿)。
•将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大,放大后的流量检测电压与设定电压进行比较,再将差值信号放大后去控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
•分流器决定主通道的流量。
•与之配套的流量显示仪上设置有稳定电源,3位半数字电压表,设定电位器,外设、内设转换和三位阀控开关等。
•控制器输出的流量栓检测电压与流过通道的质量成正比,满量程(F.S)流量检测输出电+5V。气体质量流量控制器的流量控制范围是(2~100)%F.S(程比为50:1)

主要技术指标

编号 项目 MF-200C MF-200M
1 流量规格(N2) 10sccm~30slpm 
2 准确度 ±1%F.S(Full Scale)
3 重复精度 ±0.25%F.S(Full Scale)
4 响应时间 ≤2sec(特别要求时:≤1sec)
5 耐压 ≤90bar
6 工作环境温度 0℃~50℃
7 输入输出信号 0~5V 0~5V or 4~20mA
8 供电 +15Vdc or +24Vdc   350mA
9 漏率 1×10atm.cc/sec
10 使用范围 2~100%满量程

质量流量计:质量流量计只是单纯的显示流量但并不控制。

质量流量控制器:质量流量控制器既能显示显示流量又有控制功能,流量计内部多了个电磁调节阀来实现控制流量大小。

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