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热式气体质量流量计的原理

2018-09-07

BROOKS流量控制器运用热动力学原理,一个有电源的加热器为内有连续稳定气流的

传感器套管的中部加热,在同一套管距加热器等距的地方各有一个电阻性的温度测量元件。

 

没有气流时,到达两个温度测量元件的热量是相等的:有气流时则气流带走热量,两温度

测量元件就有了温度差异,温度差异的大小和流量的大小成正比。该温度差异通过桥式电

路来反映,然后放大装置,以05V的输出电压输出到控制电路。

◎在无流量的情况下,热量会均匀的分散在每个温度元件中,随着流量的增加,流体带着

热量从上游(该处温度为T1)到达下游,则下游温度上升(该处温度为T2),不同的温

度上升通过两处元件显示,这种差异均衡的计量了气流或流速,电路显示温度的不同而

放大器提供输出量给控制电路也就是0.5伏的输出信号。控制电路比较设定要求值和输出流量信号,然后控制电磁阀。当设定值低于2%时,控制阀完全关闭,控制阀由它的控制

电路控制能完全打开或关闭。◎

控制电路比较设定要求值和输出流量信号,然后控制电磁阀。当设定值低于2%时,

控制阀完全关闭,控制阀由它的控制电路控制能完全打开或关闭。

 

!警告

请勿在超过如下规格书说明范畴外操作本仪器,忽视此警告可能造成一系列对该仪器的

损坏或损伤。

流量范围

相当于03 sccm03000 sccm氮气(N2)的范围

SEMI(半导体设备和材料协会)标准压力和温度(0oC101kPa)条件下测得

注:满程流量范围大于50 sccm

性能:校准后为满量程±1%,大于20slpm时为满量程±1。5%。

可重复性:0.25

控制范围:501

安装状态灵感度:复零后,比指定度误差不到±0。5%量程。

温度敏感度:零点:小于±0.075%量程每摄氏度

量程:比初校准刻度小±1。0%量程(在1050摄氏度)

压力敏感度:±0.03%每psi200psig(N2)

输出电压:05伏直流(200K欧姆的输出电阻)

输出信号:输出05伏直流到2000欧姆或更高的负荷

          输出5±0。1伏直流(参考),大负荷2000欧姆

大操作压力:1500psig ;5-50psid压损(小压损根据气体和周围环境具体而定)

温度、外界/气体:41149oF565oC

完全泄漏,外界:1×10-9cc/s

功率要求:常闭阀(或常开阀/流量≤2.5slpm)

           3.5瓦特,直流15伏◎35mA,-15伏@180mA

           常开阀/流量>2。5slpm

           10.5瓦特,直流15伏◎350Ma,-15伏@350mA

构造材质:

标准接液部分采用不锈钢材质,可供选择的还有;Kalrez或Buna-N

连接:

硬件连接:标准9/16-18UNF不锈钢压力接头(Swagelok),可选:VCO或VCR

电气连接:卡连接器(镀金)或D型连接器(DA-15P)

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