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5851EBROOKS 5851E质量流量控制器的详细资料

操作原理

BROOKS流量控制器运用热动力学原理,一个有精确电源的加热器为内有连续稳定气流的

传感器套管的中部加热,在同一套管距加热器等距的地方各有一个电阻性的温度测量元件。

 

没有气流时,到达两个温度测量元件的热量是相等的:有气流时则气流带走热量,两温度

测量元件就有了温度差异,温度差异的大小和流量的大小成正比。该温度差异通过桥式电

路来反映,然后放大装置,以05V的输出电压输出到控制电路。

◎在无流量的情况下,热量会均匀的分散在每个温度元件中,随着流量的增加,流体带着

热量从上游(该处温度为T1)到达下游,则下游温度上升(该处温度为T2),不同的温

度上升通过两处元件显示,这种差异均衡的计量了气流或流速,电路显示温度的不同而

放大器提供输出量给控制电路也就是0.5伏的输出信号。控制电路比较设定要求值和输出流量信号,然后控制精确电磁阀。当设定值低于2%时,控制阀完全关闭,控制阀由它的控制

电路控制能完全打开或关闭。◎

控制电路比较设定要求值和输出流量信号,然后控制精确电磁阀。当设定值低于2%时,

控制阀完全关闭,控制阀由它的控制电路控制能完全打开或关闭。

 

!警告

请勿在超过如下规格书说明范畴外操作本仪器,忽视此警告可能造成一系列对该仪器的

损坏或损伤。

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