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5853EBROOKS 5853E质量流量控制器的详细资料

可重复性:0。25

控制范围:501

安装状态灵感度:复零后,比指定精确度误差不到±0.5%量程。

温度敏感度:零点:小于±0.075%量程每摄氏度

量程:比最初校准刻度小±1.0%量程(在1050摄氏度)

压力敏感度:±0.03%每psi200psig(N2)

输出电压:05伏直流(200K欧姆的输出电阻)

输出信号:输出05伏直流到2000欧姆或更高的负荷

          输出5±0.1伏直流(参考),最大负荷2000欧姆

最大操作压力:1500psig ;5-50psid压损(最小压损根据气体和周围环境具体而定)

温度、外界/气体:41149oF565oC

完全泄漏,外界:1×10-9cc/s

功率要求:常闭阀(或常开阀/流量≤2.5slpm)

           3.5瓦特,直流15伏◎35mA,-15伏@180mA

           常开阀/流量>2.5slpm

           10。5瓦特,直流15伏◎350Ma,-15伏@350mA

构造材质:

标准接液部分采用不锈钢材质,可供选择的还有;Kalrez或Buna-N

连接:

硬件连接:标准9/16-18UNF不锈钢压力接头(Swagelok),可选:VCO或VCR

电气连接:卡连接器(镀金)或D型连接器(DA-15P)

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