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BROOKS 0550E质量流量控制器
产品时间:2018-09-03
BROOKS MFC 气体质量流量计ODEL型号:0550EGAS气体:N2FLOW RANGE流量:100SCCMINPUT PRESSURE进口压力::0.4MpaOUTPUT PRESSURE出口压力:0.1MpaO-RING SEAL 密封::VitonFITTING气路接头::1/4“SWGOUTPUT 信号输出:0-5V
0550EBROOKS 0550E质量流量控制器的详细资料
· 数字信号/模拟信号输出,可通过电脑直接显示控制,可配单/四/八通道显示控制器
· 介质:可选H2,O2等非腐蚀性气体或SiO2,SO2等腐蚀性气体
· 流量范围:0。03-30slpm
· 量程比:50:1
· 最大工作压力: 1500psi(10.432Mpa)
· 气路接头: 1/4"VCR或1/4"SWG
· 电气接头:15 Pins D-Type或Card-edge
· 精度:±1%FS
· 重复性:0。25% of rate
· 响应时间:1-3s
· 差压要求:3-6bar(压差要求与介质、量程有关)
· 操作温度范围:5~65℃
· 输出信号:0-5VDC或4-20mA
· 电源:+/-15V