悠洋棋牌

西安欧润凯机电科技有限公司

您当前的位置:>> 悠洋棋牌 >>产品中心 >>气体质量流量计 >>美国BROOKS气体质量流量计 >>SLA5850SBROOKS SLA5850S质量流量控制器
悠洋棋牌相关的文章
    暂时没有信息
产品中心
打印 字体缩放

SLA5850SBROOKS SLA5850S质量流量控制器的详细资料

BROOKS SLA5850S型流量控制器能精确的测量和控制气体流量。其核心是一个可拆卸的测量气体流量的探头,该探头产生跟流量成线性比例的电输出信号用来显示、记录和/或控制。该装置不需要气体压力进行连续的监测和重新调整就可以提供稳定的气体流量。

设计特性:

·易维护

·快速响应设定变化

·可忽略过冲/下冲影响

·可拆除传感器

·对安装方位不要求

·较大的流量控制范围(最大可达30 sl/min N2)

·外置零点和量程调节电位器

·跳线可设定软启动

·可设定外部电磁阀控制

·不要求中止流量

·常闭阀(可选常开阀)

·可兼容其他流量控制器

·抗腐蚀

操作原理

BROOKS流量控制器运用热动力学原理,一个有精确电源的加热器为内有连续稳定气流的

传感器套管的中部加热,在同一套管距加热器等距的地方各有一个电阻性的温度测量元件。

 

没有气流时,到达两个温度测量元件的热量是相等的:有气流时则气流带走热量,两温度

测量元件就有了温度差异,温度差异的大小和流量的大小成正比。该温度差异通过桥式电

路来反映,然后放大装置,以05V的输出电压输出到控制电路。

◎在无流量的情况下,热量会均匀的分散在每个温度元件中,随着流量的增加,流体带着

热量从上游(该处温度为T1)到达下游,则下游温度上升(该处温度为T2),不同的温

度上升通过两处元件显示,这种差异均衡的计量了气流或流速,电路显示温度的不同而

放大器提供输出量给控制电路也就是0。5伏的输出信号。控制电路比较设定要求值和输出流量信号,然后控制精确电磁阀。当设定值低于2%时,控制阀完全关闭,控制阀由它的控制

电路控制能完全打开或关闭。◎

控制电路比较设定要求值和输出流量信号,然后控制精确电磁阀。当设定值低于2%时,

控制阀完全关闭,控制阀由它的控制电路控制能完全打开或关闭。

 

!警告

请勿在超过如下规格书说明范畴外操作本仪器,忽视此警告可能造成一系列对该仪器的

损坏或损伤。

流量范围

相当于03 sccm03000 sccm氮气(N2)的范围

SEMI(半导体设备和材料协会)标准压力和温度(0oC101kPa)条件下测得

注:满程流量范围大于50 sccm

性能:校准后为满量程±1%,大于20slpm时为满量程±1。5%。

可重复性:0.25

控制范围:501

安装状态灵感度:复零后,比指定精确度误差不到±0。5%量程。

温度敏感度:零点:小于±0。075%量程每摄氏度

量程:比最初校准刻度小±1.0%量程(在1050摄氏度)

压力敏感度:±0.03%每psi200psig(N2)

输出电压:05伏直流(200K欧姆的输出电阻)

输出信号:输出05伏直流到2000欧姆或更高的负荷

          输出5±0.1伏直流(参考),最大负荷2000欧姆

最大操作压力:1500psig ;5-50psid压损(最小压损根据气体和周围环境具体而定)

温度、外界/气体:41149oF565oC

完全泄漏,外界:1×10-9cc/s

功率要求:常闭阀(或常开阀/流量≤2.5slpm)

           3.5瓦特,直流15伏◎35mA,-15伏@180mA

           常开阀/流量>2.5slpm

           10.5瓦特,直流15伏◎350Ma,-15伏@350mA

构造材质:

标准接液部分采用不锈钢材质,可供选择的还有;Kalrez或Buna-N

连接:

硬件连接:标准9/16-18UNF不锈钢压力接头(Swagelok),可选:VCO或VCR

电气连接:卡连接器(镀金)或D型连接器(DA-15P)

·         数字信号/模拟信号输出,可通过电脑直接显示控制,可配单/四/八通道显示控制器

·         介质:可选H2,O2等非腐蚀性气体或SiO2,SO2等腐蚀性气体

·         流量范围:0.03-30slpm

·         量程比:50:1

·         最大工作压力: 1500psi(10.432Mpa)

·         气路接头: 1/4"VCR或1/4"SWG

·         电气接头:15 Pins D-Type或Card-edge

·         精度:±1%FS

·         重复性:0。25% of rate

·         响应时间:1-3s

·         差压要求:3-6bar(压差要求与介质、量程有关)

·         操作温度范围:5~65℃

·         输出信号:0-5VDC或4-20mA

 

留言框

  • 产品:

  • 留言内容:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 详细地址:

  • 省份:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7

扫一扫

欢迎关注我们网站平台

联系我们

名称:西安欧润凯机电科技有限公司

电话:17392736225

邮箱:251131026@qq.com

传真:029-63017590

邮编:

版权所有 西安欧润凯机电科技有限公司(www.sdtlcc.com)主营:BROOKS 质量流量计,SLA5850S,SLA5853S,SLA5851S等产品
网站地图 ICP备案号: 访问量:28768
仪表网 制作维护

在线客服
上海11选5分布走势图 悠洋棋牌 上海11选5走势图 上海11选5开奖结果 上海11选5 上海11选5 悠洋棋牌下载 福运彩票平台 上海11选5 易玩棋牌app下载