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SLA5853SBROOKS SLA5853S质量流量控制器的详细资料

 

BROOKS SLA5853S型流量控制器能精确的测量和控制气体流量。其核心是一个可拆卸的测量气体流量的探头,该探头产生跟流量成线性比例的电输出信号用来显示、记录和/或控制。该装置不需要气体压力进行连续的监测和重新调整就可以提供稳定的气体流量。

设计特性:

·易维护

·快速响应设定变化

·可忽略过冲/下冲影响

·可拆除传感器

·对安装方位不要求

·较大的流量控制范围(最大可达30 sl/min N2)

·外置零点和量程调节电位器

·跳线可设定软启动

·可设定外部电磁阀控制

·不要求中止流量

·常闭阀(可选常开阀)

·可兼容其他流量控制器

·抗腐蚀

操作原理

BROOKS流量控制器运用热动力学原理,一个有精确电源的加热器为内有连续稳定气流的

传感器套管的中部加热,在同一套管距加热器等距的地方各有一个电阻性的温度测量元件。

 

没有气流时,到达两个温度测量元件的热量是相等的:有气流时则气流带走热量,两温度

测量元件就有了温度差异,温度差异的大小和流量的大小成正比。该温度差异通过桥式电

路来反映,然后放大装置,以05V的输出电压输出到控制电路。

◎在无流量的情况下,热量会均匀的分散在每个温度元件中,随着流量的增加,流体带着

热量从上游(该处温度为T1)到达下游,则下游温度上升(该处温度为T2),不同的温

度上升通过两处元件显示,这种差异均衡的计量了气流或流速,电路显示温度的不同而

放大器提供输出量给控制电路也就是0.5伏的输出信号。控制电路比较设定要求值和输出流量信号,然后控制精确电磁阀。当设定值低于2%时,控制阀完全关闭,控制阀由它的控制

电路控制能完全打开或关闭。◎

控制电路比较设定要求值和输出流量信号,然后控制精确电磁阀。当设定值低于2%时,

控制阀完全关闭,控制阀由它的控制电路控制能完全打开或关闭。

 

!警告

请勿在超过如下规格书说明范畴外操作本仪器,忽视此警告可能造成一系列对该仪器的

损坏或损伤。

流量范围

相当于03 sccm03000 sccm氮气(N2)的范围

SEMI(半导体设备和材料协会)标准压力和温度(0oC101kPa)条件下测得

注:满程流量范围大于50 sccm

性能:校准后为满量程±1%,大于20slpm时为满量程±1。5%。

可重复性:0。25

控制范围:501

安装状态灵感度:复零后,比指定精确度误差不到±0。5%量程。

温度敏感度:零点:小于±0.075%量程每摄氏度

量程:比最初校准刻度小±1.0%量程(在1050摄氏度)

压力敏感度:±0。03%每psi200psig(N2)

输出电压:05伏直流(200K欧姆的输出电阻)

输出信号:输出05伏直流到2000欧姆或更高的负荷

          输出5±0.1伏直流(参考),最大负荷2000欧姆

最大操作压力:1500psig ;5-50psid压损(最小压损根据气体和周围环境具体而定)

温度、外界/气体:41149oF565oC

完全泄漏,外界:1×10-9cc/s

功率要求:常闭阀(或常开阀/流量≤2。5slpm)

           3.5瓦特,直流15伏◎35mA,-15伏@180mA

           常开阀/流量>2。5slpm

           10。5瓦特,直流15伏◎350Ma,-15伏@350mA

构造材质:

标准接液部分采用不锈钢材质,可供选择的还有;Kalrez或Buna-N

连接:

硬件连接:标准9/16-18UNF不锈钢压力接头(Swagelok),可选:VCO或VCR

电气连接:卡连接器(镀金)或D型连接器(DA-15P)

 

布鲁克斯仪器创始于1946年。总部位于美国宾夕法尼亚州。布鲁克斯仪器在全球工业仪表行业中位列首位。2008年,曾作为全球500强及工业控制排名全球的艾默生(Emerson)集团创始公司之一的布鲁克斯仪器从艾默生公司中独立出来。公司现在全球超过15个国家和地区拥有分支机构和办事处。我们研制、生产并销售高性能的流量仪表仪器,广泛应用于医药、采炼油、化工、医疗、分析仪器、半导体制造等等行业,以满足这些行业日益增长的对工业仪表的精益求精的需求。我们通过对顾客需求的独到见解,在全球业务网络中为客户提供便捷迅速的解决方案及集成应用。布鲁克斯的成就来源于我们在行业中逾60年的领导地位。

美国BROOKS布鲁克斯公司热式质量流量计是为了满足有关工艺过程中对测量精度、重复性和控制方面的要求而设计的产品。它与传统的体积流量仪器截然不同,BROOKS质量流量计通过被测气体的比热来测量流量,不受温度、压力变化的影响。因此该产品在各种不同的工作环境下均有较高的精度。被测流量可设计成质量或体积单位。此外,所有BROOKS INSTRUMENT质量流量计产品都能同现有的工业仪表兼容,安装简便。

常用型号有:5850E5850I 5851E,SLA5850S,SLA5851S,SLA5853S

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