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BROOKS 5850E质量流量计的详细资料

BROOKS 5850E质量流量计能精确的测量和控制气体流量。其核心是一个可拆卸的测量气体流量的探头,该探头产生跟流量成线性比例的电输出信号用来显示、记录和/或控制。该装置不需要气体压力进行连续的监测和重新调整就可以提供稳定的气体流量。

BROOKS 5850E质量流量计设计特性:

·易维护

·快速响应设定变化

·可忽略过冲/下冲影响

·可拆除传感器

·对安装方位不要求

·较大的流量控制范围(最大可达30 sl/min N2)

·外置零点和量程调节电位器

·跳线可设定软启动

·可设定外部电磁阀控制

·不要求中止流量

·常闭阀(可选常开阀)

·可兼容其他流量控制器

·抗腐蚀

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